多層光コーティングマシンの技術パラメーターのリスト

モデル

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

コーティング室のサイズ

1050 * 1250304ステンレス鋼。

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

コーティングされたキャビティサイズ

1680mmの地面からのフィクスチャーサポート、ヒューマンエンジニアリングの運用に適しています。

人間の工学の運用に適した地面1468mmからのフィクスチャサポート。

人間の工学の運用に適した1510mmの地面からのフィクスチャサポート。

1つのアーチタイプのシングルワークピース、均一性のために顧客のニーズを大幅に満たすことができます。 5-30R/min回転、段階のない速度の変化。

2 Arch Type 3ワークピースプレート、惑星の回転、生産に関する顧客のニーズを大幅に満たすことができます。 5-30R/min回転、段階のない速度の変化。

ツーリングフィクスチャ

4つのピースの場合、ブラケット角度は、顧客のニーズの均一性を満たすために、さらに調整可能です。 5-30R/min回転、段階のない速度の変化。

アーチ型のシングルワークピースは、均一性のために顧客のニーズをより多く満たすために大部分があります。 5-30R/min回転、段階のない速度の変化。

アーチ型のシングルワークピースは、均一性のために顧客のニーズをより多く満たすために大部分があります。 5-30R/min回転、段階のない速度の変化。

真空システム

ユニット：拡散ポンプDIP-12000（LAI BAO）、ZJY-300 2X-70根ポンプ、機械ポンプ、ポンプメンテナンス2X-8。 304ステンレス鋼用パイプ。

ユニット：拡散ポンプKT-400（Zhen Hua）、ZJY-150 2X-70根ポンプ、機械ポンプ、ポンプメンテナンス2X-8。

ユニット：拡散ポンプKT-600（Zhen Hua）、ZJY-600 2X-70根ポンプ、機械ポンプ、ポンプメンテナンス2X-8。

ユニット：拡散ポンプKT-800（Zhen Hua）、ZJY-600 2X-70根ポンプ、機械ポンプ、ポンプメンテナンス2X-8。

究極の真空：4 x pa 10-4を超える。

乱流防止装置の構成、安全インターロック設計、手動、自動オプション。

暖房システム

加熱モードの加熱パイプ、PID制御、最高350 C + 1.5。

ガスインフレ

ガス質量流量制御機器または手動微調整充電バルブ。

真空イオン化爆撃

DC 3KV、06KWロッドカソード（ワークピースのセルフクリーニングの前にコーティング用）。

蒸発源（オプション）

1 Telemark-270 Electron Gun（Import）、6KW、高圧4KV-10KV調整可能。スキャン、スキャン、円形スキャン、スパイラルスキャン。ビームスポットの焦点は良好で、位置決めの精度が高く、再現性が良好です。

2国内電子ガン（Zhen Hua）：6kW、高圧4 kV〜8kV調整可能、三角形波、正弦波、四角波スキャンを自由に選択できます。

3：シックスホールクルーシブルファイ38 * 20または4ホールクルーシブルファイ38 * 20プラス87ポイントセンターアークアーククルーシブル（大量の低融点蒸発材料の場合）または48 x 18クルーシブルの4ポイント。

イオンソース（オプション）

1 RF（無線周波数）イオンソース（インポート）。

2 5KVA Holzer Ion Source（Zhen Huachan）は、めっきを支援するために洗浄またはめっきプロセスの前に電気めっきに使用され、フィルム屈折指数、硬さ、フィルム密度、癒着の改善を改善することを助長します。

フィルムの厚さ制御システム（選択）

1.MDC-360クリスタルコントロールデバイス（インポート）は、1〜99レイヤーの自動コーティングプロセス、99種類のプログラムデータ、精密0.5％+1固定エラーを保存できます。 2TELEMARK-880クリスタル制御デバイス（インポート）：自動コーティングプロセスの1〜99層、99種類のプログラムデータを保存できます。精度0.5％+1固定エラー。

3.TELEMARK-820 PhotoController（Import）：フルスペクトルエンド監視370-870 mm（または反射率）曲線分析の伝送を通じて、膜の終わりを決定するための監視の透過を通じて、フルスペクトル端。制御精度が高く、単一波長制御、自動制御、および手動制御を使用できます。追加のマシレッド膜システム計算ソフトウェア、高度な統合。

4.Telemark-820 Telemark-880コントローラーを備えたLight Controllerは、高精度と高い再現性の要件でクリスタルフィルムを満たすことができます。ホストコンピューターを使用すると、自動制御を実現できます。

5国内のフォトコントローラー（モノクロメーター波長330〜870などをサポートするタイプ9704など）調整可能な精度は1.5nmに達する可能性があります。

手操作デバイス

磁気ベースを使用すると、真空チャンバーのドアに配置し、任意の位置を制御できます。